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聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)組成
聲外表波濾波器就是在壓電基片資料外表產(chǎn)生和傳播、且振幅隨深化基片資料的深度增加而疾速減少的彈性波。它采用半導體集成電路的平面工藝,在壓電基片外表蒸鍍一定厚度的鋁膜,把設(shè)計好的兩個IDT的掩膜圖案,應用光刻辦法堆積在基片外表,分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號變成聲信號,沿晶體外表傳播,輸出換能器再將接納到的聲信號變成電信號輸出。
聲外表波濾波器濾波器的根本構(gòu)造是在具有壓電特性的基片資料拋光面上制造兩個聲電換能器——叉指換能器(IDT),當給聲外表濾波器輸大端輸入信號后,在電極司壓電資料外表將產(chǎn)生和外加信號頻率相同的機械振動波。該振動波以聲波速度在壓電基片外表傳播,當該波傳至輸出端時,由輸出端梳狀電極構(gòu)成的換能器將聲能轉(zhuǎn)換成交變電信號輸出。
由此可知聲外表波濾波器是由兩個換能器組成的,輸入端換能器將電能轉(zhuǎn)換成聲能發(fā)出聲外表波,而輸出端換能器則是將接納到的聲外表波聲能轉(zhuǎn)換成電能輸出。聲外表波濾波器就是應用壓電基片上的這兩個換能器來產(chǎn)生聲外表波和檢出聲外表波的,以完成濾波的作用。
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^ 聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)組成 |